CVD片状单晶6*6*2mm,钎于钛金属∮15mm,厚2mm小锭上,6个小锭钎焊于钛金属∮108mm,厚4mm大圆上。大圆中央开一个315mm圆洞,大圆边上磨出一段如晶圆的直边。
利用皮秒紫光激光雕刻机,将大圆固定于机器固定位置上机器先扫描6片钻石片的高度,选取最低的一片为标准,先将6片都重新扫至同样高度,再用激光将每片钻石雕出一百个金字塔,雕好后取下,换置于抛光机上,将金字塔的山谷及山峰抛光后完成。共有600个塔尖,每个塔尖的高度在20微米范围内,四周塔尖较低的碟片,中央共有384个较高塔尖,亦应在20微米范围内。
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